公布日期：2022年09月12日
第5講 解決設備內部的課題
半導體生產設備 內部 —整體—
半導體生產設備 內部 —真空室—
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①緊固無法手持的狹窄部位的螺絲
②防止墊圈脫落
③可保持芯片的螺絲
④高溫環境下也能保持高強度的螺絲
⑤防止不銹鋼螺絲的粘連和燒結
⑥保護螺絲不被藥品腐蝕
⑦加強螺栓拆裝頻度高的部位
⑧提高裝置的真空度
各種半導體生產工序的課題解決案例
下面介紹各種半導體生產工序的課題解決案例。預工序請點擊這里
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半導體行業與NBK的舊刊號
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